制造技術難度大

碳化硅涂層石墨基座每個爐次都需要承受一次高低溫的循環，在這個過程中碳化硅涂層很容易產生裂縫、崩潰等損傷，將導致基座上的晶片受污損，并且嚴重影響基座的使用壽命。因此，碳化硅涂層的質量直接影響石墨基座的使用壽命。

為保證碳化硅涂層石墨基座性能的良好和穩定，除高純石墨的純度、加工精細度等基體性能外，主要難點在于保持碳化硅涂層的晶型一致性、表面形貌均一性和厚度一致性等性能。高質量涂層生長工藝要求極為苛刻，碳化硅多晶涂層生長過程中，可能存在100多種晶型轉化，不同晶型轉化的溫度等條件相差較小 ；基座的尺寸越大、涂層厚度越厚，技術難度越高。此外，在不規則表面（圓弧、倒角、臺階等）處涂層均一性更難控制。因此涂層在生長過程中的溫度、壓力、氣氛等因素細微變化，都會直接影響產品質量和使用壽命。目前，石墨基座使用壽命（爐次）是衡量產品的最核心指標。

開發驗證環節長，產品進入供應鏈難度大

碳化硅涂層石墨基座進入供應鏈需要設備廠商和設備使用方給予極大程度的配合，進行應用驗證，產品的使用壽命達到國際先進水平，方具備市場競爭優勢。

首 先，碳化硅涂層石墨基座產品須通過MOCVD設備廠商的應用驗證。產品在MOCVD設備上試用后，設備廠商從使用質量、壽命等多個維度對產品進行評估，通過反復交付與反饋，從生產和使用兩方面不斷進行技術和工藝的調整，使產品性能達到國際先進水平，具備競爭優勢，最終通過驗證加入供貨商名單，其開發驗證時間一般需要 2 ～3年。同時，設備廠商對碳化硅涂層石墨基座的生產設備也有一定要求 ：一旦基座生產商提供的碳化硅涂層石墨基座樣品通過了設備廠商的驗證，則基座生產商不得輕易更換基座的生產設備。在樣品順利通過驗收的條件下，該驗證過程需 2 ～3周時間。由于對生產設備的嚴格要求，基座生產商在擴產過程中增加的新設備均需通過設備廠商的驗證。

其次，設備使用方也需要在實際生產過程中對作為耗材的碳化硅涂層石墨基座產品進行性能及穩定性評估驗證，以確保生產出來的外延片符合相應的要求，該驗證流程需 9 ～12個月，通過驗證后，才會達成大批量的采購訂單。設備廠商與設備使用方都不會輕易更換供貨商名單，用戶粘性強，進入市場的門檻較高。